一(yi)、潔凈室(shi)(Clean Room),亦稱(cheng)為無塵室或(huo)清凈室。
「潔凈(jing)室」是指將一(yi)定空間范圍內(nei)(nei)(nei)空氣(qi)(qi)中的(de)微粒(li)子、有害空氣(qi)(qi)、細菌等污染(ran)物排(pai)除,并將室(shi)內(nei)(nei)(nei)溫(wen)度(du)、潔凈(jing)度(du)、室(shi)內(nei)(nei)(nei)壓力、氣(qi)(qi)流(liu)速度(du)與氣(qi)(qi)流(liu)分(fen)布(bu)、噪音(yin)振動及(ji)照明(ming)、靜(jing)電控制在某一(yi)需求范圍內(nei)(nei)(nei),而(er)所(suo)(suo)給予(yu)特(te)別設(she)計的(de)房間。不論(lun)外在空氣(qi)(qi)條件(jian)如何變化,其(qi)室(shi)內(nei)(nei)(nei)均能具有維持(chi)原先所(suo)(suo)設(she)定的(de)潔凈(jing)度(du)、溫(wen)濕度(du)及(ji)壓力等性(xing)能的(de)特(te)性(xing)。
潔(jie)凈室主(zhu)要(yao)作用(yong)在(zai)于控(kong)制(zhi)產(chan)品(pin)所接(jie)觸空(kong)氣的潔(jie)凈度(du)及溫(wen)濕度(du),使產(chan)品(pin)能在(zai)一個良(liang)好的環境空(kong)間中生產(chan)、制(zhi)造,此空(kong)間我們稱之為「潔(jie)凈室」。
二、潔凈室的分類
1、百級潔凈(jing)間亂流式(Turbulent Flow):
空氣由空調(diao)箱經風管與潔凈(jing)室末端高(gao)效過濾器(HEPA)進入潔凈(jing)室,并由潔凈(jing)室兩側(ce)隔間墻板或高(gao)架地板回風。氣流(liu)非直(zhi)線型(xing)運動而呈不規則之亂流(liu)或渦(wo)流(liu)狀態。此(ci)型(xing)式適(shi)用于潔凈(jing)室等級:1,000-100,000級。
2、層流式(Laminar):
層流式空(kong)氣(qi)(qi)氣(qi)(qi)流運動成一均勻之直(zhi)線(xian)形,空(kong)氣(qi)(qi)由覆蓋率100%的(de)高(gao)效過濾器(qi)進入室內,并由高(gao)架(jia)地板或兩側(ce)隔墻板回風,此(ci)型式適(shi)用于(yu)潔(jie)凈室等(deng)級需定較高(gao)的(de)環(huan)境使用,一般其潔(jie)凈室等(deng)級為 1~100級(ji)。其型式(shi)可(ke)分(fen)為二(er)種:
(1)水(shui)平(ping)層流式:水平式空氣自(zi)過濾器單(dan)方向(xiang)吹出,由對邊墻壁的(de)回風(feng)系(xi)統回風(feng),塵(chen)埃隨(sui)風(feng)向(xiang)排出室外。
(2)垂直層流式(shi):房間天花板完全以高效過濾器覆(fu)蓋,空氣由上往下吹,可得較高的潔凈度,在制程中或(huo)工(gong)(gong)作人員所產生的塵埃可快(kuai)速(su)排出室外而不會影響其它工(gong)(gong)作區域。
3、復合式(Mixed Type):
復(fu)(fu)合式為將亂流式及層流式予以復(fu)(fu)合或并用(yong),可提(ti)供局(ju)部超(chao)潔凈(jing)的(de)空氣(qi)。